Методы оптико-электронной регистрации критических размеров субмикронных планарных структур изделий микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Трапашко Георгий Алексеевич ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

Автор(ы): Трапашко, Георгий Алексеевич, кандидат технических наукОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2014Физическая характеристика: 21 с. : ил.ББК: 47.33.31 ; 47.13.11 ; 47.13.81 ; 90.27.37 ; 05.27.06Note(s): Резюме на белорусском, русском, английском языках; Библиография: с. 17—18 (16 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ | МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | ПЛАНАРНЫЕ СТРУКТУРЫ | РАЗМЕРНЫЙ КОНТРОЛЬ | ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ МЕТОДЫ | КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ | ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ | ФОТОМЕТРИЧЕСКИЕ ПРИБОРЫ | СВЕТОДИОДЫ | КАЛИБРОВАНИЕ Предметная категория: Белорусский национальный документ Электронный адрес документа и доступ к нему: Щелкните здесь для доступа в онлайн
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение url Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/47994/2/default.htm Выдается

Резюме на белорусском, русском, английском языках

В фонде НББ имеется диссертация

Библиография: с. 17—18 (16 назв.)

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: