Структурные и фазовые превращения в тонких пленках тугоплавких металлов и системах металл-полупроводник при обработке плазмой активных газов : Автореф. диссерт. : 05.27.01 / Щербакова,Елена Николаевна.
Автор(ы): Щербакова, Елена НиколаевнаЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2000ББК: 05.27.01) ; 47.33Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.