Многомерное моделирование имплантационных и твердофазных диффузионных процессов в технологии микроэлектроники методом молекулярной динамики и в континуальном приближении : Автореф. диссерт. : 05.27.01 / Нелаев,Владислав Викторович.
Автор(ы): Нелаев, Владислав ВикторовичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2001ББК: 05.27.01) ; 47.33Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.