Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда : Автореф. диссерт. : 05.27.06 / Грунский,Дмитрий Игоревич.

Автор(ы): Грунский, Дмитрий ИгоревичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2001ББК: 05.27.06)Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
Выдается

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: