1. Панфилов, Ю. В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы : учеб. для сред. спец. учеб. заведений по спец. 0658 "Пр-во микроэлектрон. устройств" / Ю.В.Панфилов, В.Т.Рябов, Ю.Б.Цветков. — ББК 32.844.15-5-05я72Издательство: М. : Радио и связь, 1988Физическая характеристика: 320с.

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: