1. Колос, В. В. Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN / Ti / Si в технологии интегральных микросхем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Колос Владимир Владимирович ; Белорусский государственный университет УДК 621.382.049.77-027.3:621.793.74:661.882'065(043.3)Издательство: Минск, 2012Физическая характеристика: 23 с. : ил.Электронная копия:

Действия: Заказать Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки. Добавить в корзину
Языки: