Зводны электронны каталог бібліятэк Гродзенскай вобласці
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
[ простой вид ]
| 035 ## - Идентификатор записи другой системы | |
|---|---|
| Контрольный номер системы | (BY-HR0000)BY-NLB-br0001786305 |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20220825d2022 k y0rusy50 ca |
| 101 0# - Язык документа | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | rus |
| Язык аннотации или реферата | eng |
| -- | bel |
| -- | rus |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | BY |
| 105 ## - Поле кодированных данных: текстовые документы – монографические | |
| Кодированные данные о текстовом документе, описываемом на монографическом или аналитическом уровне | a m 000yy |
| 109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов | |
| Коды вида / характера документа | ac |
| -- | aa |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния |
| Сведения, относящиеся к заглавию | автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук |
| -- | специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах |
| Первые сведения об ответственности | Наливайко Олег Юрьевич |
| Последующие сведения об ответственности | Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| 210 ## - Публикация, распространение и т. д. | |
| Место издания, распространения и т.д. | Минск |
| Дата издания, распространения и т.д. | 2022 |
| 215 ## - Физическая характеристика | |
| Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей | 25 с. |
| Другие уточнения физических характеристик | ил. |
| 300 ## - Общие примечания | |
| Текст примечания | Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках |
| 320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя | |
| Текст примечания | Библиография: с. 17—22 (47 назв.) |
| 606 0# - Наименование темы, используемое как предмет | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar2246902 |
| Начальный элемент ввода | КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar1733874 |
| Начальный элемент ввода | ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar4760361 |
| Начальный элемент ввода | ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar33874 |
| Начальный элемент ввода | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar33866 |
| Начальный элемент ввода | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar3334434 |
| Начальный элемент ввода | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar33870 |
| Начальный элемент ввода | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar1659663 |
| Начальный элемент ввода | ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar3171698 |
| Начальный элемент ввода | ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar15827 |
| Начальный элемент ввода | ЛЕГИРОВАНИЕ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar36350 |
| Начальный элемент ввода | ФОСФОР |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar6196 |
| Начальный элемент ввода | ВОЛЬФРАМ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar2493283 |
| Начальный элемент ввода | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ |
| Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла | DVNLB |
| 615 ## - Предметные категории | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-SEK-ar1826174 |
| Начальный элемент ввода | Белорусский национальный документ |
| 675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК) | |
| Индекс | 621.382.049.77-027.3:621.793/.794(043.3) |
| Издание | 4 |
| Язык издания | rus |
| 686 ## - Индексы других классификаций | |
| Индекс | 47.33.31 |
| Код классификации | rugasnti |
| Индекс | 47.13.11 |
| Код классификации | rugasnti |
| Индекс | 55.22.01 |
| Код классификации | rugasnti |
| Индекс | 05.27.01 |
| Код классификации | nsnrrb |
| 690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения | |
| Начальный элемент ввода (или индекс) | 5 |
| Тематический подзаголовок (или индекс) | RSEK |
| Код системы | Base |
| Код библиографирующего учреждения | BY-HR0000 |
| 700 #1 - Имя лица - первичная ответственность | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar2502673 |
| Начальный элемент ввода | Наливайко |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | О. Ю. |
| Полная форма имени и отчества лица | Олег Юрьевич |
| Дополнение к именам, кроме дат | электроника |
| 712 02 - Наименование организации - вторичная ответственность | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar186905 |
| Начальный элемент ввода | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию | Минск |
| Код отношения | 995 |
| -- | 595 |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-NLB-ar7184106 |
| Начальный элемент ввода | "Интеграл" |
| Инверсированный элемент | открытое акционерное общество |
| Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию | Минск |
| Структурное подразделение | Управляющая компания холдинга "Интеграл" |
| Код отношения | 595 |
| 801 #0 - Источник происхождения записи | |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20220825 |
| Правила каталогизации | RCR |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20221111 |
| Правила каталогизации | RCR |
| 830 ## - Общее примечание, составленное каталогизатором | |
| Текст примечания | 06.10.2022 |
| 856 4# - Электронный адрес документа и доступ к нему | |
| Универсальный идентификатор ресурса (Uniform Resource Identifier) | http://dep.nlb.by/jspui/bitstream/nlb/57594/2/default.htm |
| 899 #0 - Данные о местонахождении (устаревшее) | |
| Идентификатор организации | |
| Часть, характеризующая документ | Н 23 |
| 999 ## - Лица – составители записи | |
| Дата выполнения работы | 20221111 |
Ваша корзина пуста.
Your list search is empty.
Your list search is empty.
Языки:
+375 17 293 27 57