Зводны электронны каталог бібліятэк Гродзенскай вобласці
Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур интегральных микросхем на основе кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах / Наливайко Олег Юрьевич ; Учреждение образования Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Автор(ы): Наливайко, Олег Юрьевич, электроникаОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, Минск;"Интеграл", открытое акционерное общество, Минск, Управляющая компания холдинга "Интеграл"Язык документа: Русский ; of summary,Английский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2022Физическая характеристика: 25 с. : ил.ББК: 47.33.31 ; 47.13.11 ; 55.22.01 ; 05.27.01Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках; Библиография: с. 17—22 (47 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: КРЕМНИЕВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ | ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ | ХИМИКО-МЕХАНИЧЕСКОЕ ПОЛИРОВАНИЕ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ | ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕШЕНИЯ | СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ | ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА | ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛЕНКИ | ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ | ЛЕГИРОВАНИЕ | ФОСФОР | ВОЛЬФРАМ | ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ Предметная категория: Белорусский национальный документ Электронный адрес документа и доступ к нему: Щелкните здесь для доступа в онлайн
| Тип единицы | Местонахождение | Состояние |
|---|---|---|
 Авторефераты диссертаций/диссертации |
ГОНБ. Сектор обслуживания универсального читального зала
|
Выдается |
Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
Библиография: с. 17—22 (47 назв.)
+375 17 293 27 57
Нет никаких комментариев для этого документа.