Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Доан Тхе Хоанг ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"

035 ## - Идентификатор записи другой системы
Контрольный номер системы (BY-HR0000)BY-CNB-br5716421
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20230919d2023 k y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
Язык аннотации или реферата bel
-- rus
-- eng
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
105 ## - Поле кодированных данных: текстовые документы – монографические
Кодированные данные о текстовом документе, описываемом на монографическом или аналитическом уровне a ||||000yy
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
-- специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Первые сведения об ответственности Доан Тхе Хоанг
Последующие сведения об ответственности Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Минск
Дата издания, распространения и т.д. 2023
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 21 с.
Другие уточнения физических характеристик ил., схемы
300 ## - Общие примечания
Текст примечания Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
320 ## - Примечание о наличии в документе библиографии или указателя
Текст примечания Библиография: с. 17—18 (13 назв.)
517 1# - Другие варианты заглавия
Вариант заглавия Формирование тонкоплёночных слоёв с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением
606 ## - Наименование темы, используемое как предмет
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34171
Начальный элемент ввода ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar34161
Начальный элемент ввода ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar1670946
Начальный элемент ввода СЛОЖНЫЕ ОКСИДЫ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar9573
Начальный элемент ввода ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar4777100
Начальный элемент ввода МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar19558
Начальный элемент ввода НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar39284
Начальный элемент ввода ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar15827
Начальный элемент ввода ЛЕГИРОВАНИЕ
Код системы предметизации или авторитетного / нормативного файла DVNLB
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК)
Индекс 621.793.74:539.216.2(043.3)
Издание 4
Язык издания rus
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 32
Код классификации rubbk
Индекс 47.13.11
Код классификации rugasnti
Индекс 47.13.33
Код классификации rugasnti
Индекс 47.09.31
Код классификации rugasnti
Индекс 55.22.23
Код классификации rugasnti
Индекс 55.20.15
Код классификации rugasnti
Индекс 05.27.06
Код классификации nsnrrb
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 5
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-HR0000
700 #0 - Имя лица - первичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-CNB-ar2722762
Начальный элемент ввода Доан Тхе Хоанг
Дополнение к именам, кроме дат микроэлектроника
712 02 - Наименование организации - вторичная ответственность
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-NLB-ar186905
Начальный элемент ввода Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Дополнения к наименованию или уточнения, идентифицирующие организацию Минск
Код отношения 595
-- 995
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20230921
Правила каталогизации RCR
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20240226
Правила каталогизации RCR
899 #0 - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ Д 55
999 ## - Лица – составители записи
Дата выполнения работы 20240226
Языки: