Зводны электронны каталог бібліятэк Гродзенскай вобласці
Формирование тонкопленочных слоев с высокой диэлектрической проницаемостью на основе сложных оксидов реактивным магнетронным распылением : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Доан Тхе Хоанг ; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники"
Автор(ы): Доан Тхе Хоанг, микроэлектроникаОтветственные организации: Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники, МинскЯзык документа: Русский ; of summary,Белорусский ; of summary,Русский ; of summary,Английский.Страна публикации: BY.Издательство: Минск, 2023Физическая характеристика: 21 с. : ил., схемыББК: 32 ; 47.13.11 ; 47.13.33 ; 47.09.31 ; 55.22.23 ; 55.20.15 ; 05.27.06Note(s): Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках; Библиография: с. 17—18 (13 назв.).Наименование темы, используемое как предмет: ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | ТОНКИЕ ПЛЕНКИ | СЛОЖНЫЕ ОКСИДЫ | ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ | МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ | НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ | ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА | ЛЕГИРОВАНИЕ Предметная категория: Белорусский национальный документ| Тип единицы | Местонахождение | Состояние |
|---|---|---|
 Авторефераты диссертаций/диссертации |
ГОНБ. Сектор обслуживания универсального читального зала
|
Выдается |
Резюме параллельно на белорусском, русском, английском языках
Библиография: с. 17—18 (13 назв.)
+375 17 293 27 57
Нет никаких комментариев для этого документа.