Зводны электронны каталог бібліятэк Гродзенскай вобласці
Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : Автореферат диссертации : 05.27.01 / Коробко,Юлия Олеговна.
[ простой вид ]
| 010 ## - ISBN | |
|---|---|
| Условия приобретения и (или) цена | 600р. |
| 100 ## - Данные общей обработки | |
| Данные общей обработки | 20120213d2005 m y0rusy50 ca |
| 101 0# - Язык документа | |
| Язык текста, звукозаписи и т.д. | rus |
| 102 ## - Страна публикации или производства | |
| Страна публикации | BY |
| 109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов | |
| Коды вида / характера документа | ac |
| -- | aa |
| 200 1# - Заглавие и сведения об ответственности | |
| Основное заглавие | Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии |
| Сведения, относящиеся к заглавию | Автореферат диссертации |
| -- | 05.27.01 |
| Первые сведения об ответственности | Коробко,Юлия Олеговна. |
| 210 ## - Публикация, распространение и т. д. | |
| Место издания, распространения и т.д. | Мн. |
| Дата издания, распространения и т.д. | 2005 |
| 675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК) | |
| Индекс | 621.382.049.77.002:776 |
| Издание | 4 |
| Язык издания | rus |
| 686 ## - Индексы других классификаций | |
| Индекс | 05.27.01 |
| Код классификации | nsnrrb |
| Индекс | 47.33.31 |
| Издание | 4 |
| Код классификации | rugasnti |
| 610 0# - Неконтролируемые тематические термины | |
| Тематический термин | МИКРОЭЛЕКТРОНИКА |
| Тематический термин | ЧИСЛЕННОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ |
| Тематический термин | ЭЛЕМЕНТЫ |
| Тематический термин | ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ |
| Тематический термин | КОНТРОЛЬ |
| Тематический термин | ТОПОЛОГИЯ |
| Тематический термин | ТВЕРДОТЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНИКА |
| Тематический термин | НАНОЭЛЕКТРОНИКА |
| Тематический термин | ФОТОЛИТОГРАФИЯ |
| Тематический термин | МIКРАЭЛЕКТРОНIКА |
| Тематический термин | ЛIКАВАЕ МАДЭЛIРАВАННЕ |
| Тематический термин | IНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ |
| Тематический термин | КАНТРОЛЬ |
| Тематический термин | ТАПАЛОГIЯ |
| Тематический термин | ЦВЕРДАЦЕЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОНIКА |
| Тематический термин | НАНАЭЛЕКТРОНIКА |
| 615 ## - Предметные категории | |
| Идентификатор авторитетной / нормативной записи | BY-SEK-ar1826174 |
| Начальный элемент ввода | Белорусский национальный документ |
| 690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения | |
| Начальный элемент ввода (или индекс) | 5 |
| Код системы | Base |
| Код библиографирующего учреждения | BY-HR0000 |
| Тематический подзаголовок (или индекс) | RSEK |
| 700 #1 - Имя лица - первичная ответственность | |
| Начальный элемент ввода | Коробко |
| Часть имени, кроме начального элемента ввода | Ю. О. |
| Полная форма имени и отчества лица | Юлия Олеговна |
| 801 #0 - Источник происхождения записи | |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20120213 |
| Правила каталогизации | psbo |
| Страна | BY |
| Библиографирующее учреждение | |
| Дата составления | 20170521 |
| Правила каталогизации | psbo |
| 899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее) | |
| Идентификатор организации | |
| Классификационная часть шифра | |
Ваша корзина пуста.
Your list search is empty.
Your list search is empty.
Языки:
+375 17 293 27 57