Формирование субмикронных КМОП структур с повышенной точностью критических размеров методом проекционной фотолитографии : Автореферат диссертации : 05.27.01 / Коробко,Юлия Олеговна.

Автор(ы): Коробко, Юлия ОлеговнаЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2005ББК: 05.27.01 ; 47.33.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
Выдается

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: