Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники : автореферат диссертации : 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович

010 ## - ISBN
Условия приобретения и (или) цена 1200р.
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20120213d2010 m y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
-- aa
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации
-- 05.27.01
Первые сведения об ответственности Турцевич Аркадий Степанович
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Мн.
Дата издания, распространения и т.д. 2010
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 52с.
675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК)
Индекс 621.3.049.774:537.311.37
Издание 4
Язык издания rus
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 05.27.01)
Код классификации nsnrrb
Индекс 47.09
Издание 4
Код классификации rugasnti
610 0# - Неконтролируемые тематические термины
Тематический термин ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ
Тематический термин ГАЗОВАЯ ФАЗА
Тематический термин СТРУКТУРА
Тематический термин МОРФОЛОГИЯ
Тематический термин КОНФОРМНОСТЬ
Тематический термин ЛЕГКОПЛАВКИЕ СТЕКЛА
Тематический термин СЕЛЕКТИВНЫЙ ВОЛЬФРАМ
Тематический термин ПАССИВАЦИЯ
Тематический термин МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Тематический термин ХIМIЧНАЕ АСАДЖЭННЕ
Тематический термин ГАЗАВАЯ ФАЗА
Тематический термин МАРФАЛОГIЯ
Тематический термин МIКРАЭЛЕКТРОНIКА
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 5
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-HR0000
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Начальный элемент ввода Турцевич
Часть имени, кроме начального элемента ввода А. С.
Полная форма имени и отчества лица Аркадий Степанович
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20120213
Правила каталогизации psbo
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20170521
Правила каталогизации psbo
899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ Т 88
Классификационная часть шифра
Языки: