Формирование из газовой фазы функциональных слоев субмикронных структур микроэлектроники : автореферат диссертации : 05.27.01 / Турцевич Аркадий Степанович

Автор(ы): Турцевич, Аркадий СтепановичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2010Физическая характеристика: 52с.ББК: 05.27.01) ; 47.09Предметная категория: Белорусский национальный документ
Метки из этой библиотеки: Меток нет.
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
    средняя оценка: 0.0 (0 голосов)
Тип единицы Местонахождение Состояние
Авторефераты диссертаций/диссертации Авторефераты диссертаций/диссертации
ГОНБ. Книгохранение
Выдается

Нет никаких комментариев для этого документа.

Войти в учётную запись для возможности публиковать комментарии.
Языки: