Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров : автореферат диссертации : 05.27.01 / Плебанович Владимир Иванович

010 ## - ISBN
Условия приобретения и (или) цена 1200р.
100 ## - Данные общей обработки
Данные общей обработки 20120213d2009 m y0rusy50 ca
101 0# - Язык документа
Язык текста, звукозаписи и т.д. rus
102 ## - Страна публикации или производства
Страна публикации BY
109 ## - Поле кодированных данных: вид / характер текстовых документов
Коды вида / характера документа ac
-- aa
200 1# - Заглавие и сведения об ответственности
Основное заглавие Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров
Сведения, относящиеся к заглавию автореферат диссертации
-- 05.27.01
Первые сведения об ответственности Плебанович Владимир Иванович
210 ## - Публикация, распространение и т. д.
Место издания, распространения и т.д. Мн.
Дата издания, распространения и т.д. 2009
215 ## - Физическая характеристика
Обозначение специфического вида материала и физической характеристики документа или его составных частей 22с.
675 ## - Универсальная десятичная классификация (УДК)
Индекс 537.311.322;621.396.6.049
Издание 4
Язык издания rus
686 ## - Индексы других классификаций
Индекс 05.27.01)
Код классификации nsnrrb
Индекс 47.33.31
Издание 4
Код классификации rugasnti
610 0# - Неконтролируемые тематические термины
Тематический термин МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Тематический термин ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
Тематический термин ДИФФУЗИИ
Тематический термин ЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПАРАМЕТРЫ
Тематический термин ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
Тематический термин РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
Тематический термин ЛЕГИРОВАНИЕ
Тематический термин ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ
Тематический термин СУБМИКРОННЫЕ ЧАСТИЦЫ
Тематический термин МIКРАЭЛЕКТРОНIКА
Тематический термин IОННАЯ IМПЛАНТАЦЫЯ
Тематический термин ЭЛЕКТРЫЧНЫЯ ПАРАМЕТРЫ
Тематический термин ЭЛЕКТРОННАЯ МIКРАСКАПIЯ
Тематический термин РЭНТГЕНАСТРУКТУРНЫ АНАЛIЗ
Тематический термин ЛЕГIРАВАННЕ
Тематический термин IНТЭГРАЛЬНЫЯ МIКРАСХЕМЫ
615 ## - Предметные категории
Идентификатор авторитетной / нормативной записи BY-SEK-ar1826174
Начальный элемент ввода Белорусский национальный документ
690 ## - Локальный рубрикатор библиографирующего учреждения
Начальный элемент ввода (или индекс) 5
Код системы Base
Код библиографирующего учреждения BY-HR0000
Тематический подзаголовок (или индекс) RSEK
700 #1 - Имя лица - первичная ответственность
Начальный элемент ввода Плебанович
Часть имени, кроме начального элемента ввода В. И.
Полная форма имени и отчества лица Владимир Иванович
801 #0 - Источник происхождения записи
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20120213
Правила каталогизации psbo
Страна BY
Библиографирующее учреждение
Дата составления 20170521
Правила каталогизации psbo
899 ## - Данные о местонахождении (устаревшее)
Идентификатор организации
Часть, характеризующая документ П 38
Классификационная часть шифра
Языки: