Формирование функциональных слоев пошаговым и двойным легированием для интегральных микросхем с элементами субмикронных размеров : автореферат диссертации : 05.27.01 / Плебанович Владимир Иванович
Автор(ы): Плебанович, Владимир ИвановичЯзык документа: Русский.Страна публикации: BY.Издательство: Мн., 2009Физическая характеристика: 22с.ББК: 05.27.01) ; 47.33.31Предметная категория: Белорусский национальный документ
Зарегистрируйтесь, чтобы добавлять метки.
Нет никаких комментариев для этого документа.